Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие / Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович
Артикул:586504
ISBN:
978-5-9963-0032-7
Автор:
Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович
Год издания:
2018
Издательство:
Лаборатория знаний
Название:
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Серия:
Нанотехнологии
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие / Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович
≈ 539,00 руб.
Проверить наличие и купить по самой выгодной цене:






Товар можно купить в книжных интернет-магазинах, указанных выше.
Цена при переходе на сайт интернет-магазина может отличаться как в большую, так и в меньшую сторону! Указанная цена была актуальна на дату последнего обновления каталога.
Реклама. Рекламодатель ООО "Лабиринт.Ру" / ИНН 7728644571 / Labirint.ru / Erid: 2VtzqwQYCqU
Реклама. Рекламодатель ООО "Магазин книг" / ИНН 9725076959 / My-shop.ru / Erid: AX1LYwMgKUvoDX6y
Реклама. Рекламодатель ООО "Новый Книжный Центр" / ИНН 7710422909 / Chitai-gorod.ru / Erid: 2Vtzqufp5tz
Реклама. Рекламодатель ООО "Новый Книжный Центр" / ИНН 7710422909 / Book24.ru / Erid: 2VtzqvPNRe6
Реклама. Рекламодатель ООО "Новый Книжный Центр" / ИНН 7710422909 / Bookvoed.ru / Erid: LatgBqrsQ
Реклама. Рекламодатель ООО "Литрес" / ИНН 7719571260 / Litres.ru / Erid: 2Vtzqx9kwnn
Реклама. Рекламодатель ООО "Клевер-Медиа-Групп" / ИНН 7717567452 / Clever-media.ru / Erid: LatgBnRdu
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
ISBN
978-5-9963-0032-7
Автор
Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович
Год издания
2018
Издательство
Лаборатория знаний
Название
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Серия
Нанотехнологии
Все
кодовые слова,
акции и скидки
Лабиринта
здесь >>>
кодовые слова,
акции и скидки
Лабиринта
здесь >>>
Все
промокоды,
акции и скидки
My-shop.ru
здесь >>>
промокоды,
акции и скидки
My-shop.ru
здесь >>>
Все
промокоды,
акции и скидки
Book24.ru
здесь >>>
промокоды,
акции и скидки
Book24.ru
здесь >>>
Вы смотрели
405,00 руб.
891,00 руб.
361,00 руб.
2 114,00 руб.