Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие / Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович

Артикул:586504

ISBN:
978-5-9963-0032-7

Автор:
Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович

Год издания:
2018

Издательство:
Лаборатория знаний

Название:
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Серия:
Нанотехнологии

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие / Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович

539,00 руб.

Проверить наличие и купить по самой выгодной цене:

Узнать цену и купить в Лабиринте    Узнать цену и купить в Лабиринте 

Узнать цену и купить в My-Shop.ru   Узнать цену и купить в My-Shop.ru 

Узнать цену и купить в Читай-Город  Узнать цену и купить в Читай-Город

Узнать цену и купить в Book24.ru    Узнать цену и купить в Book24.ru  

Узнать цену и купить в Буквоед      Узнать цену и купить в Буквоед   

Узнать цену и купить в ЛитРес       Узнать цену и купить в ЛитРес    


Товар можно купить в книжных интернет-магазинах, указанных выше.
Цена при переходе на сайт интернет-магазина может отличаться как в большую, так и в меньшую сторону! Указанная цена была актуальна на дату последнего обновления каталога.

Реклама. Рекламодатель ООО "Лабиринт.Ру" / ИНН 7728644571 / Labirint.ru / Erid: 2VtzqwQYCqU

Реклама. Рекламодатель ООО "Магазин книг" / ИНН 9725076959 / My-shop.ru / Erid: AX1LYwMgKUvoDX6y

Реклама. Рекламодатель ООО "Новый Книжный Центр" / ИНН 7710422909 / Chitai-gorod.ru / Erid: 2Vtzqufp5tz

Реклама. Рекламодатель ООО "Новый Книжный Центр" / ИНН 7710422909 / Book24.ru / Erid: 2VtzqvPNRe6

Реклама. Рекламодатель ООО "Новый Книжный Центр" / ИНН 7710422909 / Bookvoed.ru / Erid: LatgBqrsQ

Реклама. Рекламодатель ООО "Литрес" / ИНН 7719571260 / Litres.ru / Erid: 2Vtzqx9kwnn

Реклама. Рекламодатель ООО "Клевер-Медиа-Групп" / ИНН 7717567452 / Clever-media.ru / Erid: LatgBnRdu
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
ISBN
978-5-9963-0032-7
Автор
Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович
Год издания
2018
Издательство
Лаборатория знаний
Название
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Серия
Нанотехнологии
 
Хотите купить ещё дешевле? Используйте секретное слово Лабиринт и получите дополнительную скидку!
Все кодовые слова и акции Лабиринта можно найти

<<< НА ЭТОЙ СТРАНИЦЕ >>>
Все 
кодовые слова, 
акции и скидки 
Лабиринта 
здесь >>>
Все 
промокоды, 
акции и скидки 
My-shop.ru 
здесь >>>
Все 
промокоды, 
акции и скидки 
Book24.ru 
здесь >>>

Вы смотрели
Показать все