Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие / Громов Дмитрий Геннадьевич, Мочалов Алексей Иванович, Сулимин Александр Дмитриевич
Артикул:587423
ISBN:
978-5-94774-904-5
Автор:
Громов Дмитрий Геннадьевич, Мочалов Алексей Иванович, Сулимин Александр Дмитриевич
Год издания:
2014
Издательство:
Лаборатория знаний
Название:
Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Серия:
-
Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие / Громов Дмитрий Геннадьевич, Мочалов Алексей Иванович, Сулимин Александр Дмитриевич
≈ 563,00 руб.
Проверить наличие и купить по самой выгодной цене:
Узнать цену и купить в Лабиринте
Узнать цену и купить в My-Shop.ru
Узнать цену и купить в Читай-Город
Узнать цену и купить в Book24.ru
Узнать цену и купить в Буквоед
Узнать цену и купить в ЛитРес
Товар можно купить в книжных интернет-магазинах, указанных выше.
Цена при переходе на сайт интернет-магазина может отличаться как в большую, так и в меньшую сторону! Указанная цена была актуальна на дату последнего обновления каталога.
Реклама. Рекламодатель ООО "Лабиринт.Ру" / ИНН 7728644571 / Labirint.ru / Erid: 2VtzqwQYCqU
Реклама. Рекламодатель ООО "Магазин книг" / ИНН 9725076959 / My-shop.ru / Erid: AX1LYwMgKUvoDX6y
Реклама. Рекламодатель ООО "Новый Книжный Центр" / ИНН 7710422909 / Chitai-gorod.ru / Erid: 2Vtzqufp5tz
Реклама. Рекламодатель ООО "Новый Книжный Центр" / ИНН 7710422909 / Book24.ru / Erid: 2VtzqvPNRe6
Реклама. Рекламодатель ООО "Новый Книжный Центр" / ИНН 7710422909 / Bookvoed.ru / Erid: LatgBqrsQ
Реклама. Рекламодатель ООО "Литрес" / ИНН 7719571260 / Litres.ru / Erid: 2Vtzqx9kwnn
Реклама. Рекламодатель ООО "Клевер-Медиа-Групп" / ИНН 7717567452 / Clever-media.ru / Erid: LatgBnRdu
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
ISBN
978-5-94774-904-5
Автор
Громов Дмитрий Геннадьевич, Мочалов Алексей Иванович, Сулимин Александр Дмитриевич
Год издания
2014
Издательство
Лаборатория знаний
Название
Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Серия
-